知识 什么是材料沉积法?4 种关键技术解析
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更新于 3周前

什么是材料沉积法?4 种关键技术解析

材料沉积是在固体表面形成薄层或厚层物质的过程。

材料沉积有多种方法,包括化学和物理方法。

材料沉积的 4 种关键技术

什么是材料沉积法?4 种关键技术解析

化学沉积法

化学沉积法涉及前驱液在基底上发生反应,从而在固体上形成薄层。

一些常用的化学沉积方法包括电镀、溶胶-凝胶、浸镀、旋镀、化学气相沉积 (CVD)、等离子体增强 CVD (PECVD) 和原子层沉积 (ALD)。

这些方法依靠化学反应将所需材料沉积到表面。

物理沉积方法

物理沉积法通过机械或热力产生薄膜源。

物理气相沉积 (PVD) 就是这样一种方法,通常分为蒸发和溅射两种工艺。

在物理气相沉积过程中,沉积材料在溅射室中低压下转化为蒸汽。

然后,蒸汽凝结在腔室中的基底材料上,形成薄膜。

这种方法可以精确控制沉积层的厚度。

等离子沉积

另一种材料沉积方法是等离子体沉积。

等离子体沉积利用高能带电粒子形成等离子体,从目标材料中释放原子。

然后,这些释放出的原子与基底碰撞,沉积形成薄膜。

等离子沉积是一种多功能技术,可用于在不同尺寸和形状的物体上沉积各种材料层。

选择正确的方法

总的来说,材料沉积方法是在固体表面逐原子或逐分子地添加物质层。

沉积方法的选择取决于所需材料、基底表面、沉积层厚度和具体应用等因素。

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