薄膜的特点是厚度极小,从几分之一纳米到几微米不等,与块状材料相比,这极大地影响了薄膜的物理、电气和光学特性。薄膜是通过在真空室的高能环境中沉积材料,使颗粒逸出并在较冷的表面形成固态层的过程产生的。这种方法通常会产生定向薄膜,而不是保形薄膜。
物理特性:
薄膜具有独特的物理结构,因为其表面积与体积比很大,这影响了薄膜的生长和特性。沉积过程在真空中进行,有利于微粒的自由移动,微粒倾向于沿着直线移动,从而导致薄膜的定向性。电学特性:
薄膜的电特性受材料类型(金属、半导体或绝缘体)和基底的影响。影响导电性的一个关键因素是尺寸效应,即薄膜中电荷载流子的平均自由路径较短,会遇到更多的散射点,如结构缺陷和晶界。与块状材料相比,这导致导电性降低。
光学特性:
薄膜在光学应用(如防反射涂层和光学镀膜)中至关重要,通过使用厚度和折射率不同的多层薄膜可提高其性能。这些层可以形成利用量子约束的超晶格,从而增强其光学功能。技术应用:
薄膜是各种技术不可或缺的一部分,包括微电子设备、磁性存储介质和表面涂层。薄膜还可用于家用镜子等应用,在玻璃上镀上一层薄薄的金属膜可形成反射界面;薄膜还可用于薄膜光伏、半导体器件和光学镀膜等先进应用,优化产品设计和功能。