化学气相沉积（CVD）是一种通过气态前驱体的化学反应在基底上沉积薄膜或涂层的工艺。
CVD 的原理包括三个主要步骤：挥发性化合物的蒸发、蒸气在基底上的热分解或化学反应以及非挥发性反应产物的沉积。
这一过程通常需要高温和特定的压力范围，以促进反应并确保涂层均匀。
化学气相沉积的原理是什么？(3 个关键步骤说明）
1.挥发性化合物的蒸发
第一步，蒸发挥发性前驱体，即待沉积物质的化合物。
这种前驱体通常是一种卤化物或氢化物，可根据基底上所需沉积的材料进行选择。
蒸发过程为后续反应准备了前驱体。
2.热分解或化学反应
一旦前驱体处于气态，就会被引入反应室，在那里受到高温（通常在 1000°C 左右）的作用。
在这种温度下，前驱体会发生热分解或与反应室中的其他气体发生反应。
这种反应会将前驱体分解为原子和分子，从而为沉积做好准备。
3.非挥发性反应产物的沉积
分解或反应产生的原子和分子会沉积到加热的基底上。
这种沉积会形成一层薄膜或涂层，随着时间的推移均匀地堆积起来。
反应的非挥发性产物附着在基底上，而未反应的前驱物和副产物则被清除出反应室。
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