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离子束溅射是一种用于制造薄膜的方法。它使用一种称为离子源的特殊工具，向目标材料发射称为离子的微小颗粒。这些离子击落目标材料的碎片，然后落在表面上形成薄膜。这一过程可形成非常致密和高质量的薄膜。
离子源产生一束离子。这些离子通常由氩气等惰性气体制成。它们都具有相同的能级，以笔直、狭窄的路径行进。
离子束对准目标材料，目标材料可以是金属或电介质。高能离子撞击目标后，由于能量传递，原子或分子会被击落。
从靶上击落的材料穿过真空，落在基底上。这就在基底表面形成了一层薄膜。
离子束的能量和方向可以精确控制。这样就能形成非常均匀和致密的薄膜，这对于高精度应用非常重要。
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