热蒸发是一种物理气相沉积(PVD)技术,在高真空环境中将材料加热到其蒸发点,使其汽化,然后以薄膜的形式沉积在基底上。这种工艺的特点是简单、功耗低,并能沉积多种材料。
详细说明:
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加热材料:
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在热蒸发过程中,需要沉积的材料被放置在真空室中的电阻舟或坩埚中。材料加热采用焦耳加热法,即电流通过电阻舟,使其升温。之所以选择这种加热方法,是因为它效率高,而且可以控制温度。真空蒸发:
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真空环境的压力通常保持在 10^-5 托以下,这对整个过程至关重要。在这种低压环境中,材料可以在不与其他气体分子碰撞的情况下蒸发,否则会阻碍沉积过程。真空还能确保气化后的微粒以直线方式飞向基底。
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在基底上沉积:
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一旦气化,材料就会从源传输到基底,在那里凝结并形成薄膜。基底可以由各种材料制成,通常需要加热以提高沉积薄膜的附着力和质量。气化颗粒的能量相对较低,通常在 0.12 eV 左右,这使得该工艺非常温和,适用于脆弱的基底。材料和应用:
热蒸发可用于沉积各种材料,包括铝、银、镍和铬等金属以及镁等其他材料。这种多功能性使其适用于电子、光学和机械零件涂层等各种应用。
蒸发方法: