热蒸发是一种用于在各种材料上制造薄膜的方法。它包括加热物质直到其变成蒸汽，然后将蒸汽沉积到表面。这种技术简单、节能，可用于多种材料。
5 个关键步骤说明
1.加热材料
在热蒸发过程中，需要镀膜的材料被放置在一个称为电阻舟或坩埚的特殊容器中。该容器位于真空室中。使用电流加热材料，电流通过电阻舟，使其升温。这种方法效率高，可以精确控制温度。
2.真空蒸发
真空室的压力非常低，通常低于 10^-5 托。这种低压非常重要，因为它可以使材料在汽化时不与其他气体分子发生碰撞，从而减慢汽化过程。真空还能确保气化后的颗粒以直线方式移向基底。
3.在基底上沉积
材料一旦气化，就会从源头流向基底，在那里凝结并形成薄膜。基底可以由不同的材料制成，通常需要加热以提高薄膜的附着力和质量。气化粒子的能量较低，约为 0.12 eV，因此该工艺比较温和，适用于脆弱的基底。
4.材料和应用
热蒸发可用于沉积各种材料，包括铝、银、镍和铬等金属以及镁等其他材料。这种多功能性使其适用于从电子到光学以及机械零件涂层等多种应用。
5.蒸发方法
热蒸发主要有两种方法：电阻蒸发和电子束蒸发。电阻蒸发是通过电阻元件直接加热材料，而电子束蒸发则是利用聚焦的高能电子束加热材料。每种方法都有其优势，并根据沉积工艺的具体需求进行选择。
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