热蒸发是将材料加热至高温,使其汽化并形成蒸汽的过程。
然后,蒸汽凝结在基底上形成薄膜。
这一过程通常在压力小于 10^-5 托的真空环境中进行。
4 个要点说明
1.蒸发方法
电子束蒸发与热蒸发的主要区别在于蒸发材料的方法。
电子束蒸发使用高能电子束。
热蒸发则使用热量。
2.热传递过程
热蒸发过程涉及从热源到被蒸发材料的热量传递。
热量通过材料的外层传递,外层首先变热。
热层在对流作用下上升,冷层取而代之,从而实现温度均衡。
3.加强热传导
使用旋转蒸发技术让液体在搅拌器或旋转烧瓶中保持运动,可以增强传热效果。
这种持续的混合或强制对流可实现良好的热传递,更好地排出气体,从而加快蒸馏过程。
4.提高蒸发率
为了提高蒸发率,需要通过提高温度来增加被蒸发材料的平均能量。
温度的升高也会增加材料的蒸气压(VP)。
有些蒸发材料具有蒸汽压,因此它们可以在接近熔点的温度下升华或蒸发(如钛)。
有些复合材料会升华,有些则会蒸发。
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