电子束蒸发是一种使用金属、陶瓷和电介质等多种材料的工艺。
之所以选择这些材料，是因为它们具有高熔点，这对于在各种基底上沉积薄膜至关重要。
7 种关键材料说明
1.传统金属
用于电子束蒸发的传统金属包括铝、铜、镍、钛、锡和铬。
2.贵金属
金、银和铂等贵金属也常用于这一工艺。
3.难熔金属
选择钨和钽等难熔金属是因为它们能够承受极高的温度。
4.其他材料
其他材料包括用于特定用途的氧化铟锡和二氧化硅。
5.基底材料
沉积这些材料的基底可以有很大的不同。
常见的基底材料包括用于电子产品的硅、石英和蓝宝石晶片，以及用于陶瓷的氮化硅。
玻璃也有使用，特别是在太阳能电池板和建筑玻璃等应用中。
6.系统组件
电子束蒸发涉及几个关键组件：
- 真空室： 这对于保持环境清洁和防止污染至关重要。
- 电子束源： 通常是由钨制成的灯丝，通过磁铁将电子聚焦成束。
- 坩埚： 坩埚用于盛放源材料，可根据温度要求由铜、钨或技术陶瓷制成。
7.缺点
尽管电子束蒸发系统有其优点，但它需要高电压，这可能是危险的，必须采取广泛的安全预防措施。
此外，这些系统的设置和维护可能非常复杂且成本高昂。
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