蒸发技术在光学、航空航天、太阳能电池生产和医疗设备制造等各行各业中都至关重要。
这些技术依靠特定材料在表面上形成薄膜或涂层。
以下是蒸发技术中使用的 10 种关键材料:
1.纯金属
纯金属具有高导电性、耐用性和耐腐蚀性,因此经常被使用。
例如金、银、钛、钨和铜。
例如,由于金具有出色的反射性和抗氧化性,因此常用于光学镀膜。
2.氧化物
氧化物在半导体工业中至关重要。
二氧化硅就是一个常见的例子,因其绝缘性能和保护底层不受环境破坏的能力而被广泛使用。
3.氮化物
氮化钛等氮化物因其硬度和耐磨性而被广泛使用。
这些材料适用于需要耐用涂层的应用。
4.硫化物
硫化镉等硫化物具有半导体特性,可用于太阳能电池。
5.氟化物
氟化镁等材料的折射率低,有助于减少反射,因此被用于光学领域。
6.锑化物
锑化物具有独特的电子特性,因此适用于特定的半导体应用。
7.砷化物
砷化物以电子迁移率高而著称,是高速电子设备的理想材料。
8.硼化物
硼化物具有高熔点和硬度,因此适合高温应用。
9.碳化物
碳化物(如碳化硅)因其极高的硬度和耐磨性而闻名,是切削工具和磨料的理想材料。
10.硒化物
硒化物能够有效地将光能转化为电能,因此被广泛应用于光伏领域。
蒸发过程通常在真空室中进行,以防止污染并确保只有所需的材料才能在基底上形成薄膜。
材料被加热至高温直至汽化,然后蒸汽在基底上凝结形成薄膜。
这一过程受到控制,以实现涂层的精确厚度和均匀性,这对最终产品的性能至关重要。
根据蒸发技术的具体要求和所需涂层的类型,蒸发材料的形状各不相同,包括块状、箔状、颗粒状、线状、棒状、丸状和弹头状。
形状的选择会影响蒸发速度和沉积薄膜的均匀性。
常见的热蒸发技术包括电阻加热蒸发、电子束蒸发、闪蒸和感应加热蒸发。
每种方法都有其优点,并根据材料特性和涂层工艺所需的结果进行选择。
总之,蒸发材料多种多样,要根据其具体特性和应用要求进行选择。
这些材料的纯度通常非常高,从 99.9% 到 99.99999%,以确保涂层的质量和性能。
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