通常用于测量薄膜厚度的技术是光谱椭偏仪。光谱椭偏仪是一种非破坏性和非接触式方法,可以测量透明和半透明单层和多层薄膜的厚度。它广泛应用于电子和半导体等行业。这种方法可同时测量薄膜厚度和光学特性,如折射率和消光系数。光谱椭偏仪适用的厚度范围在 1 纳米到 1000 纳米之间。但是,它可能无法准确测量光学领域中基于透明基底的薄膜厚度。其他技术,如测针轮廓仪和干涉测量法,也可用于薄膜厚度的机械测量,但它们需要在薄膜表面设置凹槽或台阶。在选择薄膜厚度测量技术时,必须考虑材料的透明度、所需的附加信息和预算等因素。
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