XRF(X 射线荧光)分析通常可穿透样品 1-1000 微米的深度。穿透深度受样品中元素原子量的影响;与较重的元素相比,较轻的元素较难探测到较深的深度。这是因为分析过程中发射的特征 X 射线通常是由这些深度的表面原子产生的。探测不同深度元素的能力对于准确分析至关重要,因为它会影响 XRF 光谱仪接收到的信号。能量较高的元素,通常是原子序数较高的元素,在样品中的逸出深度较深,这意味着与能量较低的元素相比,它们可以从较深的层中被检测到。这种深度灵敏度是制备和解释 XRF 分析结果的关键因素。
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