用于扫描电子显微镜的溅射镀膜通常是在不导电或导电性差的试样上镀上一层超薄金属，如金、金/钯、铂、银、铬或铱。
这种涂层的目的是防止试样带电，并通过增加二次电子的发射来提高信噪比。
溅射薄膜的厚度一般在 2 到 20 纳米之间。
关于溅射涂层厚度的 5 个重要见解
1.厚度范围
用于扫描电子显微镜 (SEM) 的溅射涂层的标准厚度为 2 至 20 nm。
选择这一厚度范围是为了确保涂层足够薄，不会遮住试样的细节，但又足够厚，以提供足够的导电性并防止充电。
2.具体示例
使用 SC7640 溅射镀膜机在一个 6 英寸的晶片上镀上了 3 纳米的金/钯，这表明使用精密设备可以获得更薄的涂层（薄至 3 纳米）。
TEM 图像显示了 2 纳米的溅射铂膜，这表明我们有能力生产适合高分辨率成像的极薄涂层。
3.厚度计算
使用干涉测量技术进行的实验提供了一个计算金/钯涂层厚度的公式：[ Th = 7.5 I t \text{ (angstroms)} ] 其中 ( Th ) 是厚度（以埃为单位），( I ) 是电流（以毫安为单位），( t ) 是时间（以分钟为单位）。
此公式适用于特定条件（V = 2.5KV，目标到试样的距离 = 50mm）。
4.镀膜均匀性和精度
配备高真空、惰性气体环境和膜厚监控器等功能的高端溅射镀膜机可沉积薄至 1 纳米的涂层。
这些精密工具对于需要高分辨率的应用（如 EBSD 分析）至关重要，因为即使是最小的细节也很重要。
5.涂层厚度对成像的影响
对于具有高分辨率能力（<5 nm）的 SEM 来说，10-20 nm 的涂层厚度会开始掩盖样品的更多细节。
因此，最好使用较薄的涂层，以保持样品表面特征的完整性。
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