说到薄膜沉积，台阶覆盖率是一个关键因素。它指的是一种沉积方法能在多大程度上均匀地覆盖不平整的表面。
5 个考虑要点
1.溅射具有更好的阶跃覆盖率
溅射通常被认为比蒸发具有更好的阶跃覆盖率。这是因为溅射利用通电等离子体原子将原子从源材料中分离出来并沉积到基底上。
2.蒸发能快速沉积薄膜
相比之下，蒸发比溅射沉积薄膜的速度更快。不过，与溅射相比，它可能无法在不平整的表面上提供均匀的覆盖。
3.成本和复杂性考虑
与溅射法相比，蒸发法通常成本效益更高，复杂性更低。它还能提供更高的沉积率，因此是对成本效益和生产速度要求较高的应用的首选。
4.薄膜质量和均匀性
溅射可提供更好的薄膜质量和均匀性，从而提高产量。它还具有可扩展性，但成本较高，设置也更为复杂。
5.其他沉积方法
值得注意的是，溅射和蒸发并不是唯一可用的沉积方法。化学气相沉积等其他方法也能提供比蒸发更好的阶跃覆盖率。
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