热处理炉中常用的惰性气体是氩气（Ar）、氦气（He）和氮气（N2）。这些气体可单独使用，也可混合使用，如 Ar/He、Ar/He/N2 和 N2/He。气体或混合气体的选择取决于热处理工艺和被处理材料的具体要求。
氩气（Ar） 因其天然丰度高、反应性低而被广泛使用。它在防止热处理过程中的氧化方面特别有效，因此适用于处理铜、黄铜和铝等有色金属。氩气还可用于快速冷却处理过的金属，通过加压和在炉内循环，有效降低温度。
氦气（He） 是另一种用于热处理的惰性气体。与氩气相比，氦气资源较少，价格较高，但导热性能更好。这种特性使氦气成为需要精确温度控制和快速热传导的工艺的理想选择。在热处理气氛中，氦气通常与氩气或氮气混合使用，以优化这些特性。
氮气（N2） 与大多数钢材无反应，常用于涉及黑色材料的热处理工艺。不过，氮气的反应性会随温度升高而增加，因此在高温应用中必须小心控制。氮气通常与其他气体结合使用，以产生更多的惰性气氛，尤其是在烧结和光亮退火等工艺中。
在热处理炉中选择惰性气体及其组合对于保持加工材料的完整性和质量至关重要。这些气体有助于防止氧化和其他不必要的化学反应，确保材料在热处理后保持所需的特性。在汽车、航空航天和石油化工等对材料性能和可靠性要求极高的行业，使用惰性气氛尤为重要。
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