说到蒸发，加热源材料是一个关键步骤。
有两种主要方法可以实现这一目的：电阻加热和电子束加热。
蒸发过程中加热源材料的两种常见方法是什么？
1.电阻加热
电阻加热包括使用加热元件或灯丝加热源材料。
灯丝通常由钨、钼、石英或石墨等材料制成。
大电流通过包含金属材料的电阻丝或金属箔。
当灯丝加热时，就会达到熔点。
热量传递给源材料，使其蒸发或升华为蒸汽。
2.电子束加热
在电子束加热中，电子束用于加热源材料。
电子束由电子枪产生。
电子束直接照射源材料，使其升温、蒸发或升华。
电子束蒸发可精确控制加热过程。
电子束蒸发还可实现高沉积率。
电阻加热和电子束加热都常用于蒸发工艺。
这些方法将源材料加热到高温，使其蒸发并凝结在基底上。
每种方法都有其自身的优势，并根据涂层材料、沉积速率、涂层质量和膜厚控制等因素进行选择。
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