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蒸发过程中加热源材料的两种常见方法是电阻加热和电子束加热。
1.电阻加热：这种方法是使用加热元件或灯丝来加热源材料。灯丝由钨、钼、石英或石墨等材料制成，通过含有金属材料的电阻丝或金属箔，将大电流加热到熔点。当灯丝升温时，源材料也随之升温，最终蒸发或升华为蒸汽。
2.电子束加热：在这种方法中，使用电子束加热源材料。电子枪产生的电子束对准源材料，使其加热并蒸发或升华。电子束蒸发可精确控制加热过程，并实现高沉积率。
这两种加热机制通常用于蒸发工艺，将源材料加热到高温，使其汽化并凝结在基底上。每种方法都有其优点，并根据涂层材料、沉积速率、涂层质量和膜厚控制等因素进行选择。
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有机物蒸发坩埚，简称蒸发坩埚，是一种在实验室环境中蒸发有机溶剂的容器。
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