溅射是一种用于制造业的薄膜沉积工艺，尤其适用于半导体、磁盘驱动器、光盘和光学设备等行业。它是指在高能粒子的轰击下，将目标材料中的原子喷射到基底上。这种技术用途广泛，能够在不同形状和尺寸的基底上沉积各种材料，并可从小型研究项目扩展到大规模生产。溅射靶材的质量和沉积参数的精确度对于获得一致的高质量薄膜至关重要。自 19 世纪初以来，溅射技术已成为一项成熟的技术，与溅射技术相关的美国专利已超过 45,000 项，凸显了溅射技术在先进材料和设备制造中的重要性。
详细说明：
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工艺概述：
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溅射是将目标材料和基片置于真空室中。施加电压，使靶材成为阴极，基片成为阳极。来自真空室等离子体或气体的高能粒子轰击靶材，使原子喷射出来并沉积到基底上。这一过程是制造具有精确特性的薄膜的基础。多功能性和可扩展性：
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溅射工艺适应性强，可沉积包括元素、合金和化合物在内的多种材料。它可以适应各种尺寸和形状的基底，因此既适用于小规模研究，也适用于大规模工业应用。这种可扩展性确保溅射技术能够满足不同行业的各种需求。
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质量和一致性：
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溅射靶材的制造工艺对所生产薄膜的质量至关重要。靶材的成分和溅射参数的精度直接影响沉积薄膜的均匀性、密度和附着力。这些因素对于要求高精度和高可靠性的应用（如半导体器件和光学镀膜）至关重要。历史和技术进步：
溅射技术历史悠久，可追溯到 19 世纪早期。几个世纪以来，人们取得了许多进步，开发出了各种溅射技术，如阴极溅射、二极管溅射和反应溅射。这些创新拓展了溅射技术的能力，使其能够应用于尖端技术和材料科学领域。
