热蒸发和溅射是沉积薄膜的两种常用方法。
每种方法都有各自的优缺点。
在此，我们将重点讨论热蒸发法相对于溅射法的优势。
与溅射法相比，热蒸发法的优势是什么？(5 个要点）
1.蒸发速度更快
热蒸发的蒸发速度更快。
这意味着沉积过程可以更快完成。
因此，您可以获得更高的吞吐量和大批量生产。
2.成本效益和简便性
与溅射法相比，热蒸发法成本效益更高，复杂性更低。
这使它成为许多实验室和生产设施更容易获得的选择。
3.沉积厚膜的能力
热蒸发可以使用闪蒸或坩埚等方法沉积厚膜。
这在需要较厚涂层时尤为有利。
4.适用于各种材料
热蒸发尤其适用于沉积金属或非金属的较薄薄膜，特别是熔点较低的薄膜。
它还适用于需要改进阶跃覆盖率的材料，或在处理多种材料时使用。
5.降低基底损坏的风险
热蒸发过程中涉及的能量取决于被蒸发源材料的温度。
这就降低了损坏基底的可能性。
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