在基底上沉积薄膜时，通常使用两种主要方法：物理气相沉积 (PVD) 和化学气相沉积 (CVD)。
物理气相沉积 (PVD) 和化学气相沉积 (CVD) 的 4 个主要区别
1.沉积方法
物理气相沉积（PVD）：
物理气相沉积使用物理方法将材料沉积到基底上。
化学气相沉积（CVD）：
化学气相沉积涉及反应气体与基底表面之间的化学反应，以沉积材料。
2.工艺细节
物理气相沉积（PVD）：
在 PVD 过程中，材料在基底上从凝结相（固态或液态）转变为气态，然后又回到凝结相。此过程不涉及任何化学反应。
化学气相沉积（CVD）：
化学气相沉积是将反应气体引入一个腔室，在基底表面发生化学反应，形成固态薄膜。
3.常见方法
物理气相沉积（PVD）：
常见的 PVD 方法包括蒸发沉积和溅射沉积。在蒸发沉积法中，材料被加热直至汽化，然后凝结在基底上。在溅射沉积法中，由于轰击粒子的动量传递，原子从目标材料中喷射出来，然后沉积在基底上。
化学气相沉积（CVD）：
化学气相沉积包括多种类型，如等离子体增强化学气相沉积（PECVD）。这些方法用于沉积二氧化硅和氮化硅等电介质。
4.应用和环境影响
物理气相沉积（PVD）：
PVD 通常用于沉积金属。不过，利用电子束蒸发等技术，它也可以沉积氧化物和半导体，常用于抗反射涂层。PVD 被认为更环保，因为它不涉及新物质的生产或旧材料的消耗，减少了化学污染的可能性。
化学气相沉积（CVD）：
CVD 广泛应用于半导体行业，用于沉积需要精确控制化学成分和性质的材料薄膜。
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