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纳米粒子的蒸发技术包括将源材料加热到高温，使其熔化，然后蒸发或升华为蒸汽。蒸发后的原子在表面上凝结成固态，在腔室视线范围内的所有物体上都镀上一层薄薄的源材料。这种技术通常在高真空室中进行，以尽量减少气体碰撞和不必要的反应。
详细说明：
加热源材料：
蒸发技术的第一步是加热源材料。这可以通过各种方法实现，如热蒸发、电子束蒸发或感应加热。例如，在电子束蒸发中，使用电子束加热源材料，使其熔化和蒸发。在感应加热中，射频感应加热线圈围绕着装有源材料的坩埚，射频能量加热材料。真空蒸发：
蒸发过程在高真空环境中进行。这种真空至关重要，因为它允许蒸汽颗粒直接到达目标物体（基底），而不会与其他气体分子发生碰撞。这种直接移动可确保材料更均匀、更可控地沉积到基底上。真空还有助于减少可能影响沉积薄膜质量的不必要反应和滞留气层。
在基底上沉积：
蒸发后，颗粒流向基底，基底位于真空室内源材料的上方。在这里，颗粒重新凝结成固态，在基底上形成一层薄膜。这层薄膜可以薄至 5 到 250 纳米，具体取决于所需的应用。沉积过程可以改变基底的特性，而不会明显影响其尺寸精度。应用：
主要用于电力电子领域的一种技术。它是利用电子束技术，通过材料沉积将碳源材料制成的石墨薄膜。
有机物蒸发坩埚，简称蒸发坩埚，是一种在实验室环境中蒸发有机溶剂的容器。
有机物蒸发舟是在有机材料沉积过程中实现精确均匀加热的重要工具。
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在电子枪光束蒸发中，坩埚是一种容器或源支架，用于盛放和蒸发要沉积到基底上的材料。
用于沉积薄膜的容器；具有铝涂层陶瓷本体，可提高热效率和耐化学性。
用于高温应用的容器，可将材料保持在极高温度下蒸发，从而在基底上沉积薄膜。
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