真空系统旨在创造并维持一个气体压力降低的空间。这种压力大大低于大气压力。该系统通过从密闭空间中去除或置换气体分子，从而形成真空来实现这一目的。
4 个关键阶段说明
1.创造真空的阶段
初始粗加工阶段
该过程从粗抽泵开始。该泵可在低至几帕斯卡的大气压力下工作。当真空室处于大气压时使用。其作用是将压力迅速降低到可控水平。
高真空阶段
一旦压力充分降低，就需要使用高真空泵。这可以是扩散泵或涡轮分子泵。这些泵可以达到十亿分之一帕斯卡的压力。它们设计用于处理极低的压力，通常与粗抽泵串联。
2.真空泵的类型
正排量泵
这些泵通过机械方式捕获一定量的气体，然后将其排出腔室。它们对产生低真空和中真空非常有效。
动量传递泵
这类泵利用流体或机械装置的动能将气体分子推出腔室。它们可产生低压区域。
截留泵
这些泵通过冷凝、升华或电离等过程捕获气体分子。它们用于制造极高真空。
3.真空的控制和维护
真空系统配有各种阀门和真空计。这些阀门和仪表可控制气流并监测腔体内的压力。这些阀门的正确排序对于防止油和其他污染物逆流进入真空室至关重要。
系统还包括疏水阀和保持泵。这些设备可保持扩散泵前线的低压。这可确保真空的完整性。
4.应用和优点
创造真空可用于各种应用。这些应用包括薄膜镀膜、真空炉和粒子加速器。低压环境可最大限度地减少污染并提高热蒸发率。这使其成为精确化学成分和特殊薄膜的理想选择。
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