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溅射涂层是一种用于在基底上涂敷薄功能层的方法。这是通过物理气相沉积技术实现的。该工艺涉及高能粒子将原子从目标材料中击出。然后，这些原子沉积到基底上，形成原子级的牢固结合。
该过程首先要对一个腔室进行抽空，以去除所有分子。然后，在腔体内充入氩气、氧气或氮气等特定气体。气体的选择取决于要沉积的材料。
对目标材料施加负电位。腔体作为正阳极。这种设置可在腔体内产生等离子体放电。
高能粒子撞击目标材料，导致原子喷射。这些原子穿过真空室，以薄膜的形式沉积到基底上。
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