热蒸发是物理气相沉积(PVD)中使用的一种工艺,即在高真空环境中将固体材料加热到其蒸发点,使其变成蒸汽。然后,蒸汽穿过真空室,在基底上凝结,形成薄膜涂层。
需要了解的 5 个关键步骤
1.加热材料
通过焦耳加热(电阻蒸发)或聚焦的高能电子束(电子束蒸发)将固体材料加热至高温。这种加热会使材料蒸发或升华,变成蒸汽。
2.蒸汽传输
气化后的材料在其蒸汽压力的作用下穿过高真空室。真空环境可确保蒸汽流不会与其他原子发生反应或散射,从而保持其完整性。
3.在基底上沉积
蒸气到达基底,接触后凝结成薄膜。薄膜可以是各种材料,取决于蒸发过程中使用的源材料。
4.加热机制
在电阻蒸发中,材料被放置在电阻舟中,通过电流对其进行加热,使其因电阻而升温。在电子束蒸发中,一束高能电子射向材料,直接加热材料并使其蒸发。
5.真空环境
高真空环境至关重要,因为它可以防止蒸气与空气分子发生相互作用,从而导致散射或不必要的化学反应。这可确保蒸气沿直线传播,并均匀地沉积在基底上。
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