热蒸发是一种广泛应用于薄膜沉积的物理气相沉积(PVD)技术。
这种方法通常使用电阻加热,在高真空环境中将材料加热到蒸发点。
气化的分子随后到达基底,在基底成核并形成薄膜涂层。
这种技术因其简单、沉积率高和材料利用效率高而备受推崇,在光学、电子和太阳能电池等行业中发挥着重要作用。
5 个要点说明
1.加热和蒸发
该工艺首先在高真空室中加热目标材料。
这通常是通过电阻加热实现的,即电流通过含有待蒸发材料的电阻材料(通常是由钨或钼制成的舟形或坩埚)。
电阻元件产生的热量将材料的温度升高到其蒸发点,使其蒸发。
2.运输
蒸发后,材料以蒸汽流的形式流向基底。
高真空环境可确保气流不受空气分子的阻碍或改变,从而干净直接地沉积到基底上。
3.凝结和薄膜形成
蒸汽到达基底后,会凝结成一层固体薄膜。
薄膜的厚度和均匀性可以通过调整参数来控制,例如蒸发速度、蒸发源和基底之间的距离以及蒸发过程的持续时间。
4.应用
热蒸发技术应用广泛,包括在太阳能电池、薄膜晶体管、半导体晶片和碳基有机发光二极管中形成金属结合层。
根据应用要求,热蒸发可在共沉积层中沉积单一材料或多种材料。
5.优点
该技术可沉积包括铝、银、镍和铬等金属在内的多种材料,沉积率高,材料利用效率高,因此备受青睐。
电子束蒸发等先进技术可提高涂层的精度和质量。
总之,热蒸发是一种基本的多功能薄膜沉积方法,可精确控制薄膜特性,提高材料利用效率。
它的应用遍及各个关键行业,凸显了其在现代技术进步中的重要性。
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