在沉积氧化锌薄膜时，最可能使用的方法是磁控溅射与反应溅射.
沉积氧化锌薄膜的 4 个要点
1.磁控溅射
之所以选择磁控溅射，是因为它可以生产出高纯度、稳定和均匀的薄膜。
这种方法通过离子轰击使目标材料（锌）升华。
材料直接从固态蒸发，不会熔化。
这确保了与基底的良好粘附性，并可处理多种材料。
2.反应溅射
反应溅射是通过将反应气体（氧气）引入溅射腔来实现的。
这种气体与溅射的锌原子发生反应，形成氧化锌。
反应可发生在目标表面、飞行中或基底上。
这使得氧化锌等化合物材料的沉积成为可能，而这是元素靶无法实现的。
3.系统配置
这种沉积工艺的系统配置可能包括基底预热站等选项。
还可能包括用于原位清洁的溅射蚀刻或离子源功能。
基底偏压能力和可能的多阴极也是系统的一部分。
这些功能可提高沉积氧化锌薄膜的质量和均匀性。
4.挑战和专家控制
尽管具有上述优势，但仍需应对诸如化学计量控制和反应溅射产生的不良后果等挑战。
由于涉及许多参数，工艺非常复杂，需要专家控制。
这对于优化氧化锌薄膜的生长和微观结构十分必要。
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