MPCVD 机器是微波等离子体化学气相沉积的缩写。它是一种在实验室中使用含碳气体和微波等离子体生长高质量金刚石薄膜的工具。MPCVD 系统包括一个真空室、一个微波发生器和一个气体输送系统。微波发生器产生 2.45 GHz 范围内的微波,而气体输送系统则控制进入真空室的气体流量。基片温度由等离子体的位置控制,温度由热电偶监测。MPCVD 是生产低成本、高质量大型金刚石的一项前景广阔的技术。
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