溅射靶材的寿命受多种因素影响。
了解这些因素可以帮助您最大限度地延长溅射靶材的使用寿命。
溅射靶材的寿命有多长？需要考虑的 5 个关键因素
1.靶材材料
靶材的材料至关重要。
金属、陶瓷或塑料等不同材料的寿命各不相同。
例如，钼靶用于导电薄膜，其操作条件与其他靶类似。
2.应用功率和占空比
所使用的功率和占空比对靶材的寿命有很大影响。
低于 10% 的占空比可使靶材在 "关闭 "期间冷却，防止过热并保持工艺稳定性。
3.靶材料的质量
靶材的纯度、密度和均匀性会影响其使用寿命。
杂质更少、结构更完整的高质量靶材通常寿命更长。
4.运行环境
包括真空条件和惰性气体流量在内的操作环境会影响靶材的寿命。
保持良好的真空环境可降低污染风险并保持靶的完整性。
5.溅射系统的维护
正确管理工作周期、确保高质量的靶材以及保持清洁可控的操作环境是延长溅射靶材寿命的关键因素。
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