溅射实际上是物理气相沉积(PVD)的一种。这种技术是通过高能粒子轰击将目标材料中的原子或分子喷射出来,使这些喷射出来的粒子在基底上凝结成薄膜。
需要了解的 4 个要点
1.溅射的机理
溅射是通过高能粒子(通常是氩气等气体的离子)轰击目标材料来实现的。
这种轰击通过一个称为动量传递的过程使原子从靶材表面移出。
喷出的原子随后穿过真空室,沉积到基底上,形成薄膜。
这种工艺可控性强,用途广泛,可沉积包括金属、合金和某些电介质在内的各种材料。
2.溅射类型
溅射技术有多种类型,每种类型的离子生成方法和应用的能量各不相同。
常见类型包括直流溅射、射频溅射和磁控溅射。
每种技术都有自己的优势,适合不同的应用。
例如,磁控溅射因其沉积率高、可沉积多种材料而被广泛使用。
3.溅射的应用
溅射被广泛应用于各行各业。
在半导体工业中,它用于沉积导电层和绝缘层。
在光学行业,溅射薄膜用于生产偏振滤光片。
此外,在建筑玻璃行业,溅射还被用于在大面积表面镀膜,以达到节能的目的。
4.与其他 PVD 技术的比较
虽然蒸发和阴极电弧沉积等其他 PVD 技术也能沉积薄膜,但溅射因其能沉积多种材料和适合大面积涂层而脱颖而出。
在溅射和其他 PVD 方法之间做出选择通常取决于应用的具体要求,如要沉积的材料类型、所需的薄膜特性以及操作规模。
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