不同类型的 PVD 涂层设备包括
1.真空离子蒸发镀膜机:这种 PVD 涂层机利用电离过程蒸发目标材料并将其沉积到基底上。它通常用于对精度和均匀性要求较高的应用。
2.磁控溅射镀膜机:这种 PVD 涂层机采用磁控溅射工艺,通过电离气体形成等离子体,并加速离子射向目标材料。离子将原子从目标材料中分离出来,然后沉积到基底上。这种方法以其多功能性和对多种材料进行涂层的能力而著称。
3.MBE 分子束外延涂层机:MBE 是一种 PVD 涂层方法,涉及在高真空环境中使用分子束或原子束沉积材料。这种工艺可以精确控制薄膜的生长,通常用于半导体行业生产高质量的外延层。
4.PLD 激光溅射沉积镀膜机:PLD 是一种利用激光烧蚀目标材料并将其沉积到基底上的 PVD 涂层技术。激光能量使目标材料气化,然后凝结在基底上。这种方法通常用于复杂材料和结构的薄膜沉积。
这些不同类型的 PVD 涂层设备具有各种优势,可根据应用的具体要求进行选择。它们可为包括航空航天、汽车和医疗领域在内的众多行业带来改善耐磨性、提高硬度和增强外观美感等优势。
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