PVD 涂层涉及使用各种材料，包括金属、金属氧化物、氮化物、碳化物和其他化合物。
PVD 涂层中常用的材料包括钛、锆、铝、氧化硅、类金刚石碳以及各种硫基和钼基化合物。
选择这些材料的依据是它们的硬度、耐腐蚀性和热稳定性等特性，这些特性在 PVD 过程中会得到增强。
PVD 涂层中使用了哪些化学品？(5 种关键材料详解）
1.金属和金属化合物
PVD 涂层通常使用钛、锆和铝等金属。
这些金属在 PVD 过程中会形成氧化物、氮化物和碳化物等化合物。
例如，钛可以形成碳化钛（TiC）或氮化钛（TiN），它们以高硬度和耐磨性著称。
锆同样可以形成碳化锆（ZrC）或氮化锆（ZrN），它们也具有出色的耐腐蚀性和硬度。
2.氧化硅
这种材料可用于 PVD 涂层，因为它能增强表面的介电性质，使其具有抗导电性，在电子应用中非常有用。
3.类金刚石碳（DLC）
DLC 涂层以其极高的硬度和低摩擦系数而著称，非常适合需要耐磨性和低摩擦的应用，如精密工具和机械部件。
4.硫基和钼基化合物
这些材料通常用于 PVD 涂层，以增强润滑性和减少摩擦。
例如，二硫化钼（MoS2）因其润滑性能而成为一种常见的选择。
5.反应气体
在 PVD 过程中，会引入氮气、氧气和甲烷等活性气体，与气化的金属原子发生反应，形成各种化合物。
例如，氮气与钛反应形成氮化钛，这是一种坚硬、耐磨的涂层。
PVD 涂层材料的选择取决于应用的具体要求，包括所需的硬度、耐腐蚀性、热稳定性和摩擦学特性。
PVD 过程本身包括涂层材料的蒸发、气化原子向基体的输送、与气体反应形成化合物以及将材料沉积到基体上。
这一过程在真空条件下进行，确保了高质量、致密的涂层与基体的良好附着力。
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