知识 CVD 设备有哪些功能?8 种主要功能说明
作者头像

技术团队 · Kintek Solution

更新于 2个月前

CVD 设备有哪些功能?8 种主要功能说明

CVD 设备是化学气相沉积设备的缩写。

它用于半导体行业在晶片上制造薄膜。

该工艺包括在晶片表面沉积二氧化硅或氮化硅等材料层。

8 项主要功能说明

CVD 设备有哪些功能?8 种主要功能说明

1.气体输送系统

该系统向反应腔供应前驱体。

2.反应腔

这是进行沉积的腔室。

3.基底装载机制

这是一个用于引入和移除基底的系统。

4.能量源

提供反应或分解前体所需的能量或热量。

5.真空系统

除反应或沉积所需的气态物质外,该系统可去除所有其他气态物质。

6.排气系统

排出反应室中的挥发性副产品。

7.废气处理系统

在某些情况下,废气可能需要处理或转化为安全化合物后才能排放到大气中。

8.过程控制设备

包括仪表、控制器、警报器、安全装置和其他设备,用于监测和控制压力、温度和时间等工艺参数。

CVD 设备广泛应用于碳化硅、能源储存、航空航天和国防、涂层和半导体制造等多个行业。

它用于生产高质量、均匀的薄膜,具有出色的薄膜纯度、厚度、成分和微观结构控制能力。

该设备具有多功能性、低温沉积、高生产率和低废料产生等特点。

微电子元件、平板显示器、存储设备和其他电子产品需求的增长推动了 CVD 设备市场的发展。

等离子体增强型 CVD(PECVD)技术的引入也促进了市场的增长,因为它可以在较低的基底温度下沉积材料,并减少基底上的热应力。

此外,CVD 设备在太阳能电池制造、医疗应用、涂层和各种研发活动中的使用也进一步推动了市场的发展。

总之,CVD 设备在先进电子设备、涂层和催化生产中发挥着至关重要的作用。

它能实现精确、可靠的薄膜沉积,是各行各业必不可少的工具。

继续探索,咨询我们的专家

您在寻找满足半导体行业需求的高质量 CVD 设备吗?

KINTEK 是您的最佳选择!我们最先进的设备旨在提供精确可靠的材料沉积,促进先进技术的发展。

凭借我们的气体输送系统、反应室和过程控制设备,您可以相信我们的 CVD 设备一定能满足您的需求。

立即升级您的半导体制造工艺,联系 KINTEK 以满足您对 CVD 设备的所有要求!

相关产品

射频等离子体增强化学气相沉积系统 射频等离子体增强化学气相沉积系统

射频等离子体增强化学气相沉积系统 射频等离子体增强化学气相沉积系统

RF-PECVD 是 "射频等离子体增强化学气相沉积 "的缩写。它能在锗和硅基底上沉积 DLC(类金刚石碳膜)。其波长范围为 3-12um 红外线。

CVD 金刚石涂层

CVD 金刚石涂层

CVD 金刚石涂层:用于切割工具、摩擦和声学应用的卓越导热性、晶体质量和附着力

用于热管理的 CVD 金刚石

用于热管理的 CVD 金刚石

用于热管理的 CVD 金刚石:导热系数高达 2000 W/mK 的优质金刚石,是散热器、激光二极管和金刚石氮化镓 (GOD) 应用的理想之选。

CVD 掺硼金刚石

CVD 掺硼金刚石

CVD 掺硼金刚石:一种多功能材料,可实现量身定制的导电性、光学透明性和优异的热性能,应用于电子、光学、传感和量子技术领域。

客户定制的多功能 CVD 管式炉 CVD 机器

客户定制的多功能 CVD 管式炉 CVD 机器

KT-CTF16 客户定制多功能炉是您的专属 CVD 炉。可定制滑动、旋转和倾斜功能,用于精确反应。立即订购!

多加热区 CVD 管式炉 CVD 机器

多加热区 CVD 管式炉 CVD 机器

KT-CTF14 多加热区 CVD 炉 - 适用于高级应用的精确温度控制和气体流量。最高温度可达 1200℃,配备 4 通道 MFC 质量流量计和 7" TFT 触摸屏控制器。

拉丝模纳米金刚石涂层 HFCVD 设备

拉丝模纳米金刚石涂层 HFCVD 设备

纳米金刚石复合涂层拉丝模以硬质合金(WC-Co)为基体,采用化学气相法(简称 CVD 法)在模具内孔表面涂覆传统金刚石和纳米金刚石复合涂层。

带真空站 CVD 机的分室 CVD 管式炉

带真空站 CVD 机的分室 CVD 管式炉

带真空站的高效分室 CVD 炉,可直观检查样品并快速冷却。最高温度可达 1200℃,采用精确的 MFC 质量流量计控制。

等离子体增强蒸发沉积 PECVD 涂层机

等离子体增强蒸发沉积 PECVD 涂层机

使用 PECVD 涂层设备升级您的涂层工艺。是 LED、功率半导体、MEMS 等领域的理想之选。在低温下沉积高质量的固体薄膜。

倾斜旋转式等离子体增强化学沉积(PECVD)管式炉设备

倾斜旋转式等离子体增强化学沉积(PECVD)管式炉设备

介绍我们的倾斜旋转式 PECVD 炉,用于精确的薄膜沉积。可享受自动匹配源、PID 可编程温度控制和高精度 MFC 质量流量计控制。内置安全功能让您高枕无忧。

用于实验室金刚石生长的圆柱形谐振器 MPCVD 金刚石设备

用于实验室金刚石生长的圆柱形谐振器 MPCVD 金刚石设备

了解圆柱形谐振器 MPCVD 设备,这是一种微波等离子体化学气相沉积方法,用于在珠宝和半导体行业中生长钻石宝石和薄膜。了解其与传统 HPHT 方法相比的成本效益优势。

用于实验室和金刚石生长的钟罩式谐振器 MPCVD 金刚石设备

用于实验室和金刚石生长的钟罩式谐振器 MPCVD 金刚石设备

使用我们专为实验室和金刚石生长设计的 Bell-jar Resonator MPCVD 设备获得高质量的金刚石薄膜。了解微波等离子体化学气相沉积如何利用碳气和等离子体生长金刚石。

915MHz MPCVD 金刚石机

915MHz MPCVD 金刚石机

915MHz MPCVD 金刚石机及其多晶有效生长,最大面积可达 8 英寸,单晶最大有效生长面积可达 5 英寸。该设备主要用于大尺寸多晶金刚石薄膜的生产、长单晶金刚石的生长、高质量石墨烯的低温生长以及其他需要微波等离子体提供能量进行生长的材料。

切削工具坯料

切削工具坯料

CVD 金刚石切削刀具:卓越的耐磨性、低摩擦、高导热性,适用于有色金属材料、陶瓷和复合材料加工


留下您的留言