知识 什么是金溅射靶材?需要了解的 4 个要点
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 3个月前

什么是金溅射靶材?需要了解的 4 个要点

金溅射靶材是一种专门制备的纯金或金合金圆盘。

它是金溅射过程中的源材料。

金溅射是一种物理气相沉积(PVD)方法。

靶材被设计安装在溅射设备中。

在这种设备中,靶材在真空室中受到高能离子轰击。

这种轰击会使其喷射出由金原子或金分子组成的细小蒸气。

然后,这些蒸气沉积到基底上,形成一层薄薄的金。

什么是金溅射靶材?需要了解的 4 个要点

什么是金溅射靶材?需要了解的 4 个要点

1.金溅射靶材的组成和制备

金溅射靶材由与纯金相同的化学元素组成。

它们是专为溅射工艺而制造的。

这些靶材通常呈圆盘状。

这些圆盘与溅射设备的设置兼容。

靶材可以由纯金或金合金制成。

具体选择取决于最终金涂层所需的特性。

2.金溅射工艺

金溅射过程包括将金靶放入真空室。

然后使用直流电源将高能离子射向靶材。

也可以使用热蒸发或电子束气相沉积等其他技术。

这种轰击会导致金原子从靶上喷射出来。

这一过程被称为溅射。

喷射出的原子穿过真空,沉积到基底上。

这样就形成了一层薄而均匀的金层。

3.应用和重要性

金溅射被广泛应用于各行各业。

它能够在不同的表面沉积一层薄而均匀的金。

这项技术在电子工业中尤为重要。

金涂层可用于增强电路板的导电性。

它还用于生产金属首饰和医疗植入物。

金的生物相容性和抗褪色性有利于这些应用。

4.设备和条件

金溅射工艺需要专门的设备。

为确保金镀层的质量和均匀性,必须在受控条件下进行。

真空环境对防止金层污染至关重要。

离子的能量必须严格控制。

这样才能确保所需的沉积速度和质量。

总之,金溅射靶材是在各种基底上沉积薄金层的关键部件。

它专门设计用于溅射设备。

它在多个行业的金涂层应用中发挥着举足轻重的作用。

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