物理气相沉积(PVD)是一种通过将固态材料转化为气态,然后在基底上将其重新冷凝为固态,从而在基底上沉积材料薄膜的工艺。这一过程是通过各种物理机制实现的,无需使用化学反应来储存能量。
答案摘要:
物理气相沉积(PVD)是指将固体材料转化为气态,然后将其凝结在基底上形成薄膜。这是通过溅射等物理方法实现的,不涉及化学反应。PVD 广泛应用于工业领域的涂层应用,包括陶瓷印刷电路板的制造。
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扩展解释:将材料转化为蒸汽:
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在 PVD 技术中,待沉积的材料最初为固态,然后转化为气态。这通常是通过将材料加热到其升华温度或使用溅射等物理方法实现的,在溅射过程中,原子通过动量交换从固体或液体源释放出来。其他方法包括使用强大的激光脉冲、电弧或离子/电子轰击。
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蒸汽传输:
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气化后的材料将穿过低压区域,从其源传输到基底。这一步骤需要一个可控的环境,通常是真空室,以确保蒸汽能够自由移动,不受大气气体的干扰。在基底上凝结:
蒸汽到达基底后,会凝结成一层薄膜。薄膜的厚度从 1 微米到 10 微米不等,具体取决于应用的具体要求。冷凝过程至关重要,因为它决定了最终薄膜的质量和性能。
应用和技术: