在溅射法中，靶材是一种固体材料，用于在基底上沉积薄膜。
在此过程中，原子或分子在高能粒子的轰击下从目标材料中喷射出来。
通常，这些粒子是氩气等惰性气体的离子。
然后，溅射材料在真空室中的基底上形成薄膜。
靶材特征和类型
溅射系统中的靶材通常是各种尺寸和形状的实心板。
根据等离子体几何形状的具体要求，它们可以是平面的，也可以是圆柱形的。
这些靶材由各种材料制成，包括纯金属、合金以及氧化物或氮化物等化合物。
靶材的选择取决于待沉积薄膜所需的特性。
溅射过程
在溅射过程中，受控气体（通常为氩气）被引入真空室。
放电作用于容纳目标材料的阴极，产生等离子体。
在该等离子体中，氩原子被电离并加速冲向靶材。
它们与目标材料碰撞，导致原子或分子喷射出来。
这些喷射出的粒子形成蒸汽流，蒸汽流穿过腔室，沉积到基底上，形成薄膜。
具体实例和应用
例如，硅溅射靶材由硅锭制成。
它可以通过电镀、溅射或气相沉积等各种方法制造。
对这些靶材进行加工，以确保其具有理想的表面条件，如高反射率和低表面粗糙度。
这对沉积薄膜的质量至关重要。
由此类靶材生产的薄膜具有颗粒数量少的特点，因此适合应用于半导体和太阳能电池的制造。
结论
总之，溅射中的靶材是决定基底上沉积薄膜的材料成分和特性的关键部件。
溅射工艺包括使用等离子体将材料从靶材中喷射出来。
然后，这些材料沉积到基底上，形成具有特定所需特性的薄膜。
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