薄膜的开发涉及一系列过程和技术。
薄膜是厚度从亚纳米到微米不等的材料层。
薄膜的诞生始于随机成核过程,随后是成核和生长阶段。
这些阶段取决于各种沉积条件,如生长温度、生长速度和基底表面化学性质。
薄膜沉积技术分为物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)两类。
物理气相沉积是将固体材料气化并沉积到基底上。
CVD 则是通过气体反应在基底上形成薄膜。
这些沉积方法对各行各业的发展起到了至关重要的作用。
薄膜在半导体电子、磁记录介质、集成电路、发光二极管、光学涂层、工具保护硬涂层、制药、医药等行业应用广泛。
薄膜涂层可以改变物体的质量,如提高耐用性、改变导电性或改善光学性能。
固体薄膜的历史可以追溯到古代,当时人们使用金属薄膜(通常是镀金)进行装饰和保护。
如今,精确的原子层沉积技术被用于生产高纯度薄膜。
薄膜沉积技术是现代电子产品(包括半导体、光学设备、太阳能电池板、磁盘驱动器和 CD)发展不可或缺的一部分。
它还用于生产消费类电子产品、半导体激光器、光纤激光器、LED 显示器、光学过滤器、化合物半导体、精密光学仪器、显微镜、微分析样品切片和医疗植入物。
没有放之四海而皆准的薄膜沉积系统或方法。
技术和配置的选择取决于应用的具体性能和生产要求。
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