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热蒸发与电子束蒸发的主要区别在于蒸发材料的方法。
在热蒸发法中，材料是利用热量蒸发的。将装有材料的坩埚加热到高温，使材料汽化。这种方法非常适合需要较低熔化温度的金属和非金属材料。热蒸发可以产生纯度高、与基底附着力好的薄膜，但由于坩埚被加热，可能导致涂层密度较低，杂质风险较大。
另一方面，电子束蒸发是一种物理气相沉积工艺，使用高能电子束使材料气化。气化后的材料凝结在基底上形成薄膜。电子束蒸发可以处理氧化物等温度较高的材料，并能生成纯度高、与基底附着力好的薄膜。与热蒸发相比，它的沉积率也更高。
总之，热蒸发使用热量使材料气化，而电子束蒸发则使用高能电子束。这两种方法的选择取决于沉积材料的具体要求和所需的薄膜特性。
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钨和钼坩埚具有优异的热性能和机械性能，常用于电子束蒸发工艺。
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在电子枪光束蒸发中，坩埚是一种容器或源支架，用于盛放和蒸发要沉积到基底上的材料。
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用于高温应用的容器，可将材料保持在极高温度下蒸发，从而在基底上沉积薄膜。
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这些坩埚充当电子蒸发束蒸发出的金材料的容器，同时精确引导电子束以实现精确沉积。
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蒸发舟源用于热蒸发系统，适用于沉积各种金属、合金和材料。蒸发舟源有不同厚度的钨、钽和钼，以确保与各种电源兼容。作为一种容器，它可用于材料的真空蒸发。它们可用于各种材料的薄膜沉积，或设计成与电子束制造等技术兼容。
