在制作薄膜时，有两种常见的方法：热蒸发和电子束蒸发。
选择热蒸发和电子束蒸发时应考虑的 5 个要点
1.蒸发方法
在热蒸发法中，材料是利用热量蒸发的。
将装有材料的坩埚加热到高温，使材料汽化。
2.对材料的适用性
热蒸发法非常适合需要较低熔化温度的金属和非金属材料。
3.薄膜质量
热蒸发可以生产出纯度高、与基底附着力强的薄膜。
不过，由于坩埚被加热，可能会导致涂层密度较低，杂质风险较大。
4.电子束蒸发工艺
电子束蒸发是一种物理气相沉积工艺，使用高能电子束使材料气化。
气化后的材料凝结在基底上形成薄膜。
5.电子束蒸发的优点
电子束蒸发可以处理氧化物等温度较高的材料。
它可以生产纯度高、与基底附着力好的薄膜。
与热蒸发相比，它还具有更高的沉积率。
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