XRF 或 X 射线荧光是一种强大的分析技术，用于测量材料的成分。然而，XRF 测量的准确性会因多种因素而变化。了解这些因素对于获得可靠的结果至关重要。
XRF 的误差范围是多少？(需要考虑的 7 个关键因素）
1.厚度范围
XRF 技术可检测的厚度范围低至 1 纳米，高至 50 微米。低于 1 纳米时，特征 X 射线无法与噪声信号区分开来，导致无法检测。超过 50um 时，涂层厚度变得过于致密，内层的 X 射线无法穿透并到达检测器，从而产生饱和效应，无法测量厚度的进一步变化。
2.准直器尺寸
准直器是 XRF 分析仪的关键部件，决定着 X 射线光束的光斑大小。准直器的尺寸必须与被测样品的尺寸相匹配。如果准直器过大，就会包括周围区域的成分，影响测量的准确性。不同的准直器可根据样品尺寸优化精度，但选择时还必须考虑 X 射线通过准直器时产生的光束发散。
3.探测器的选择
XRF 仪器使用比例计数器或半导体探测器，如硅漂移探测器（SDD）。比例计数器中充有惰性气体，在受到 X 射线照射时会发生电离，产生与吸收的能量成正比的信号。而 SDD 则使用半导体材料，在受到 X 射线照射时会产生与样品元素成分相关的电荷。探测器的选择取决于分析的具体需要，SDD 通常具有更高的分辨率和速度。
4.样品制备
高质量的样品制备对于减少 XRF 分析中的误差至关重要。压制颗粒等常用方法因其高效性和成本效益而被广泛使用。正确聚焦样品、将样品与 X 射线管和检测器对准以及使用与被测部件相似的基质等因素对于获得准确的结果至关重要。不对齐或基底选择不正确会导致分析结果出现重大误差。
5.校准和仪器调整
定期校准和适当的仪器调整是保持准确度和精确度的必要条件。校准曲线针对特定的厚度和成分范围进行了优化，超出这些范围的测量结果应予以标记。过度调整或忽略常规调整也会造成误差。
6.设备的技术规格
设备的技术规格，如准直器和检测器类型，对 XRF 测量的准确性起着重要作用。要获得可靠的结果，就必须确保这些组件质量上乘，并与所分析的样品适当匹配。
7.样品的物理特性
样品的物理特性（如厚度和排列）也会影响 XRF 测量的误差范围。正确对齐和制备样品对于避免误差和确保结果准确至关重要。
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