从本质上讲，物理气相沉积（PVD）不是单一方法，而是一系列基于真空的涂层工艺。其基本理论涉及仅使用物理机制——例如加热或轰击——将固体材料转化为蒸汽。然后，该蒸汽穿过真空并凝结到目标物体（称为基板）上，形成一层非常薄的高性能薄膜。
PVD的核心原理是三个阶段的物理转变：固体材料被汽化，通过真空传输，然后重新凝结成基板上的固体薄膜。与化学工艺不同，材料的基本化学特性从头到尾保持不变。
PVD的核心原理
要真正理解PVD，最好将其分解为三个不同的物理阶段。整个过程的成功取决于在高真空环境中对每个步骤的精确控制。
阶段 1：汽化
第一步是从固体源材料（通常称为“靶材”）中产生蒸汽。这主要通过两种不同的物理方法实现。
- 热蒸发：此方法使用热量。源材料在高真空中被加热，直到达到开始蒸发的温度，直接从固体转变为气体。然后这种蒸汽充满腔室。
- 溅射：这是一种能量更高的方法。用高能离子（通常来自氩气等惰性气体）轰击固体靶材。这种轰击就像微观喷砂一样，物理上将原子从靶材表面剥离，并将它们喷射到真空腔室中。
阶段 2：传输
一旦原子从源材料中喷射出来，它们就会穿过真空腔室。这一阶段解释了真空为何如此关键。
高真空环境会去除空气和其他气体分子，否则这些分子会与行进中的蒸汽原子发生碰撞。没有真空，原子将被散射、减速或与其他气体反应，从而无法直接、干净地到达基板。这种直接、不受阻碍的行进通常被称为“视线”沉积。
阶段 3：凝结
当蒸汽原子到达较冷的基板表面时，它们会失去能量并重新凝结成固体状态。
这不是一个瞬间的过程。原子在表面的各个点成核，并通过逐层生长形成连续的薄膜。薄膜的最终特性——其密度、附着力和应力——在很大程度上受到到达原子的能量和基板温度的影响。
理解权衡：PVD与CVD
虽然PVD依赖于物理过程，但另一种常见的化学气相沉积（CVD）方法则使用化学反应。理解它们的区别是理解PVD背后理论的关键。
PVD的优势：纯度和较低的温度
PVD是直接的物理转移，这意味着沉积的薄膜可以具有极高的纯度。因为它不依赖于高温化学反应，所以它可以在比许多CVD工艺低得多的温度下进行。这使得PVD非常适合涂覆不能承受高温的材料，例如塑料或某些合金。
CVD的优势：保形涂层
CVD涉及一种化学前驱体气体，该气体在基板表面发生反应形成薄膜。由于它是一种气相反应，它可以均匀地涂覆复杂、三维物体的所有表面。PVD是一种“视线”工艺，难以均匀涂覆复杂的形状、阴影和凹槽。
薄膜特性
PVD薄膜通常非常致密，但由于沉积的能量特性，可能会存在较高的内部应力。相比之下，CVD通过调整前驱体气体和工艺参数，可以对薄膜的晶体结构和化学成分进行出色的控制，通常会产生残余应力较低的薄膜。
为您的目标做出正确的选择
您在PVD和化学替代品之间的选择完全取决于零件的几何形状、您要沉积的材料以及最终薄膜所需的特性。
- 如果您的主要重点是在低温下涂覆平面或简单表面：PVD是用于光学、半导体和工具等材料的绝佳、高纯度的选择。
- 如果您的主要重点是均匀涂覆复杂的3D零件：CVD“包裹”表面的能力使其成为具有复杂几何形状部件的更优方法。
- 如果您的主要重点是沉积纯金属或简单化合物：像溅射这样的PVD方法具有高度可控、可重复性强，并且是成熟的行业标准。
最终，理解PVD是一种视线物理转移是知道何时以及如何有效应用它的关键。
摘要表：
| PVD 阶段 | 关键过程 | 主要方法 |
|---|---|---|
| 1. 汽化 | 固体源材料转化为蒸汽。 | 热蒸发或溅射 |
| 2. 传输 | 蒸汽通过真空传输到基板。 | 在高真空环境中的视线传输 |
| 3. 凝结 | 蒸汽凝结形成固体薄膜。 | 在基板表面成核和生长 |
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