知识 溅射镀膜机中的压力是多少? 5 个要点详解
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 2个月前

溅射镀膜机中的压力是多少? 5 个要点详解

溅射镀膜机在运行过程中的压力通常在 10^-3 到 10^-2 毫巴(或 mTorr)之间,大大低于大气压力。

这种低压对于溅射过程的有效进行和确保涂层质量至关重要。

溅射镀膜机中的压力是多少? 5 个要点说明

溅射镀膜机中的压力是多少? 5 个要点详解

1.基本压力

在溅射过程开始之前,溅射镀膜机的真空系统要进行抽真空,以达到高真空范围内的基本压力,通常约为 10^-6 毫巴或更高。

这种初始抽真空对于清洁表面(尤其是基底)和防止残余气体分子污染至关重要。

2.引入溅射气体

达到基本压力后,将惰性气体(通常为氩气)引入腔室。

气体流量由流量控制器控制,从研究环境中的几毫微米(标准立方厘米/分钟)到生产环境中的几千毫微米不等。

这种气体的引入会将腔体内的压力提高到溅射的操作范围。

3.工作压力

溅射过程中的操作压力保持在 mTorr 范围内,特别是在 10^-3 到 10^-2 mbar 之间。

这一压力至关重要,因为它会影响沉积速率、涂层的均匀性和溅射薄膜的整体质量。

在这些压力下,气体放电法产生入射离子,然后与目标材料碰撞,使其溅射并沉积到基底上。

4.压力控制的重要性

必须对溅射室内的压力进行仔细管理,以优化薄膜的生长。

如果压力过低,薄膜形成过程会很慢。

相反,如果压力过高,反应气体会 "毒害 "靶材表面,对沉积速度产生负面影响,并可能损坏靶材。

5.均匀性和薄膜厚度

工作压力也会影响溅射涂层的均匀性。

在工作压力下,溅射离子经常与气体分子碰撞,导致其方向随机偏离,从而使涂层更加均匀。

这对于复杂的几何形状尤为重要,因为在复杂的几何形状中,不同表面的薄膜厚度需要保持一致。

总之,溅射镀膜机中的压力是一个关键参数,必须精确控制,以确保溅射工艺的效率和质量。

通过仔细控制真空系统和溅射气体的引入,可将工作压力范围保持在 10^-3 至 10^-2 毫巴之间,从而共同促进高质量薄膜的沉积。

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