技术团队 · Kintek Solution

溅射是一种使用特定气体在基底上形成薄膜或涂层的工艺。

了解溅射工艺气体的 5 个要点

1.最常见的工艺气体是氩气

氩气通常是溅射的首选气体。

2.将氩气引入真空室

在真空室中，氩被电离并形成等离子体。

3.等离子体中的离子向目标材料加速

这些离子使目标材料中的原子或分子发生错位。

4.错位粒子形成蒸汽流

气流沉积到基底上，形成薄膜或涂层。

5.气体的选择多种多样

根据溅射工艺的具体要求，还可以使用氖、氪、氙、氧和氮等其他气体。

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