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溅射是一种使用特定气体在基底上形成薄膜或涂层的工艺。
氩气通常是溅射的首选气体。
在真空室中，氩被电离并形成等离子体。
这些离子使目标材料中的原子或分子发生错位。
气流沉积到基底上，形成薄膜或涂层。
根据溅射工艺的具体要求，还可以使用氖、氪、氙、氧和氮等其他气体。
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