PVD(物理气相沉积)和 CVD(化学气相沉积)工艺是将薄膜沉积到基底上,用于各种应用。
这些应用包括提高材料的硬度、耐磨性和抗氧化性。
PVD 涉及蒸发或溅射等物理过程。
CVD 涉及基底表面的化学反应。
什么是 PVD 和 CVD 涂层工艺?(四个要点说明)
1.CVD(化学气相沉积)
工艺概述:
化学气相沉积是指加热基底,将层成分的挥发性化合物引入反应室。
这些化合物在加热的基底表面发生反应或分解,沉积出固体层。
该工艺在高压和高温下运行,适合生产较厚的层。
机理:
前驱体分子被引入反应室,然后被吸到基底上,在基底上发生化学反应,形成薄膜。
这种方法对复杂的三维形状涂层非常有效。
应用:
CVD 广泛应用于电子工业的芯片制造。
它还用于建筑用玻璃的精炼。
CVD 还可用于光学镀膜和在工具上制造合成金刚石层。
2.PVD(物理气相沉积)
工艺概述:
PVD 是一种基于真空的镀膜工艺,镀膜层是通过直接从初始材料中冷凝材料蒸气而形成的。
与 CVD 不同,PVD 过程中不会发生化学反应。
机理:
PVD 包括蒸发、溅射和分子束外延等方法。
在这些工艺中,要沉积的材料在真空室中蒸发,然后凝结在基底上形成薄膜。
应用:
PVD 可用于工具和模具的涂层,在不改变基材化学成分的情况下增强其表面性能。
3.独特优势和应用
PVD 和 CVD 对于生产具有优异性能的薄膜至关重要。
每种方法都有其独特的优势和应用,具体取决于基材的要求和涂层所需的性能。
4.尖端解决方案
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