薄膜蒸发是指源材料在真空中蒸发，蒸发后的材料凝结在基底上形成薄膜的过程。
该工艺在制造微/纳米设备中至关重要，常用于太阳能电池板、光学涂层和电子产品等多个行业。
3 个关键步骤说明
1.蒸发
通过热或电子束方法将源材料加热到高温，使其在真空环境中蒸发。
热蒸发
这种方法使用电阻热源加热目标材料，直至其汽化。
高温使材料达到蒸汽压，从而促进蒸发。
这种技术对于沉积银和铝等金属简单有效，这些金属可用于有机发光二极管、太阳能电池和薄膜晶体管。
电子束（E-beam）蒸发法
在这种更先进的方法中，使用高能电子束蒸发目标材料。
电子束可精确控制蒸发过程，因此适用于沉积要求高纯度和精确厚度控制的材料，如用于太阳能电池板和建筑玻璃的光学薄膜。
2.运输
气化后的材料通过真空输送到基底。
真空环境至关重要，因为它能确保只有来自源的气化材料才能到达基底。
这可以防止污染并确保薄膜的完整性。
真空还能减少与其他气体分子的碰撞，从而有助于蒸汽的有效传输。
3.冷凝
到达基底后，蒸汽冷却并凝结，形成固体薄膜。
冷凝过程受基底温度和表面特性的影响。
薄膜的质量和厚度可通过调节蒸发速率、基底温度和沉积循环次数来控制。
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