热气相沉积是一种用于在各种材料上生成薄膜的方法。它是物理气相沉积（PVD）的一种，包括加热固体材料直至其变成蒸汽。然后，蒸汽凝结在基底上，形成薄膜。
5 个要点说明
1.真空室设置
工艺开始于真空室。真空室通常由不锈钢制成，内有一个由钨或钼等难熔材料制成的坩埚或坩埚船。要沉积的材料（称为蒸发剂）被放置在坩埚或坩埚舟内。
2.加热和蒸发
使用电阻热源对材料进行加热。这种加热一直持续到材料达到气化点，产生蒸汽压力。这一过程所需的温度通常在 250 到 350 摄氏度之间。
3.沉积到基底上
蒸发后的材料以蒸汽形式通过真空室。然后沉积到基底上，基底通常倒置在真空室的顶部。基底可以由石英、玻璃或硅等各种材料制成。
4.形成薄膜
当蒸汽在基底上凝结时，会形成一层薄膜。薄膜的厚度可从埃到微米不等，具体取决于应用的具体要求。
5.应用和重要性
热气相沉积在薄膜制造业中至关重要。它广泛应用于电子领域，在半导体和太阳能电池中沉积导电层，从而提高其性能和效率。通过确保沉积高质量的薄膜，它还在有机发光二极管和其他显示技术的生产中发挥着重要作用。
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