射频溅射沉积常用的频率为 13.56 MHz。
选择这一频率有几个原因。
13.56 MHz 成为射频溅射沉积标准频率的 4 个主要原因
1.符合法规
国际电信联盟 (ITU) 已将 13.56 MHz 指定为工业、科学和医疗 (ISM) 仪器的频率。
这种分配可防止干扰电信服务。
它确保射频溅射设备在专门为非通信应用保留的频段内运行。
2.2. 离子-目标相互作用的效率
13.56 MHz 的频率很低，足以让氩离子在溅射过程中有足够的时间向靶材料进行动量传递。
在此频率下，离子有足够的时间在下一轮射频场开始之前到达靶材并与之相互作用。
这种相互作用对于靶材的有效溅射至关重要。
3.避免电荷积聚
在射频溅射中，交变电势有助于防止目标上的电荷积聚，尤其是在处理绝缘材料时。
在射频正循环期间，电子被吸引到靶材上，使其产生负偏压。
在负循环期间，离子轰击继续进行，确保靶材保持电中性，防止形成液滴等不利影响。
4.广泛接受的标准
鉴于 13.56 MHz 的有效性和符合国际规定，它已成为射频溅射的标准频率。
这种标准化简化了溅射设备的设计和操作。
它还确保了不同系统和组件的兼容性。
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