是的,碳可以溅射到试样上。
但是,生成的薄膜通常氢比例较高。
因此,在 SEM 操作中,碳溅射是不可取的。
高氢含量会影响电子显微镜成像的清晰度和准确性。
5 个考虑要点
1.什么是碳溅射?
碳溅射涉及高能离子或中性原子撞击碳靶表面的过程。
由于能量的传递,一些碳原子会被喷射出来。
这些喷出的原子随后沉积到试样上,形成一层薄膜。
2.电压在溅射中的作用
该过程由外加电压驱动。
该电压加速电子向正阳极移动。
它还将带正电的离子吸引到负偏压的碳靶上。
这就启动了溅射过程。
3.氢含量问题
尽管碳溅射在扫描电子显微镜中的应用是可行的,但却受到限制。
这是由于溅射薄膜中的氢浓度较高。
氢会与电子束相互作用,导致图像变形或干扰试样分析。
4.替代方法
为 SEM 和 TEM 应用实现高质量碳涂层的另一种方法是在真空中对碳进行热蒸发。
这种方法避免了与高氢含量相关的问题。
它可以使用碳纤维或碳棒,后者是一种称为 Brandley 法的技术。
5.SEM 的实际应用
总之,虽然技术上可以将碳溅射到试样上,但由于溅射薄膜中氢含量较高,其在 SEM 中的实际应用受到限制。
要在电子显微镜中获得高质量的碳涂层,热蒸发等其他方法是首选。
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