薄膜是通过各种沉积技术制成的,包括蒸发、溅射、化学气相沉积(CVD)和旋涂。这些方法可以精确控制薄膜的厚度和成分,这对于薄膜在电子、光学和制药等行业的广泛应用至关重要。
蒸发和溅射(物理气相沉积 - PVD):
物理气相沉积(PVD)是指通过将蒸发物质从源头冷凝到基底上,从而实现材料的沉积。此过程在真空室中进行,以最大限度地减少干扰,确保颗粒自由移动。蒸发包括加热材料直到其汽化,然后在较冷的基底上冷凝。而溅射则是通过高能粒子(通常是离子)的轰击,将原子从固体目标材料中喷射出来。这些原子随后沉积到基底上。这两种方法都具有方向性,用于制造具有特定性能(如导电性或反射性)的薄膜。化学气相沉积(CVD):
化学气相沉积是一种用于生产高纯度、高性能固体材料的化学工艺。该工艺包括将基底置于反应器中,使其接触挥发性气体。这些气体与基底之间的化学反应会在基底表面形成固体层。CVD 可以生产各种材料的薄膜,包括单晶、多晶或无定形结构。薄膜的特性可通过控制温度、压力和气体成分等参数进行调整。
旋转涂层:
旋涂技术主要用于在平面基底上形成均匀的薄膜。将少量涂层材料涂抹在基底上,然后高速旋转基底,使材料均匀地铺满整个表面。这种方法尤其适用于在半导体工业中形成薄而均匀的光刻胶层。
应用和重要性: