扫描电子显微镜（SEM）中使用的溅射涂层厚度通常为 2 到 20 纳米（nm）。
这种超薄金属层通常是金、金/钯、铂、银、铬或铱，用于非导电或导电性差的试样。
其目的是防止充电，并通过增加二次电子的发射来提高信噪比。
SEM 溅射涂层有多厚？需要考虑的 4 个关键因素
1.溅射镀膜的目的
在处理非导电或对光束敏感的材料时，溅射涂层对 SEM 至关重要。
这些材料会积累静电场，从而扭曲成像过程或损坏样品。
溅射涂层可作为导电层，防止出现这些问题，并通过提高信噪比来改善 SEM 图像的质量。
2.涂层厚度
SEM 中溅射涂层的最佳厚度一般在 2 到 20 nm 之间。
对于倍率较低的 SEM，10-20 nm 的涂层就足够了，不会对成像造成明显影响。
但是，对于放大倍率较高的扫描电镜，尤其是分辨率低于 5 纳米的扫描电镜，必须使用更薄的涂层（薄至 1 纳米），以避免遮挡样品更精细的细节。
配备高真空、惰性气体环境和膜厚监控器等功能的高端溅射镀膜机就是为实现这些精确的薄涂层而设计的。
3.涂层材料类型
虽然金、银、铂和铬等金属是常用的涂层材料，但也使用碳涂层。
这些涂层尤其适用于 X 射线光谱和电子反向散射衍射 (EBSD) 等应用，在这些应用中，必须避免涂层材料对样品的元素或结构分析造成干扰。
4.对样品分析的影响
涂层材料及其厚度的选择会严重影响 SEM 分析的结果。
例如，在 EBSD 中，使用金属涂层可能会改变晶粒结构信息，导致分析不准确。
因此，在这种情况下，最好使用碳涂层，以保持样品表面和晶粒结构的完整性。
总之，扫描电子显微镜中溅射涂层的厚度是一个关键参数，必须根据样品的具体要求和分析类型进行仔细控制。
2-20 nm 的范围是一个通用准则，但为了针对不同类型的样品和显微镜目标优化成像和分析，通常需要进行调整。
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