知识 溅射是物理气相沉积吗?(4 个要点解释)
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 2个月前

溅射是物理气相沉积吗?(4 个要点解释)

是的,溅射是物理气相沉积 (PVD) 的一种。

概述: 溅射是一种物理气相沉积方法,由于轰击粒子(通常是气态离子)的动量传递,材料从目标源喷射出来。喷射出的材料在基底上凝结成薄膜。

1.溅射过程

溅射是物理气相沉积吗?(4 个要点解释)

在溅射过程中,目标材料(源)不会被熔化,而是在高能粒子(通常是离子)的撞击下喷射出原子。

这一过程涉及轰击离子到目标材料的动量传递,导致原子被物理喷射。

喷出的原子随后穿过低压环境(通常是真空或受控气体环境),沉积在基底上,形成薄膜。

这种沉积可在不同的气体压力下进行,从而影响溅射粒子的能量和方向性。

2.溅射薄膜的特征

溅射产生的薄膜通常非常薄,厚度从几个原子层到微米不等。

厚度可通过溅射过程的持续时间和其他参数(如溅射粒子的能量和质量)来控制。

与热蒸发形成的薄膜相比,溅射薄膜因喷射原子的高动能而具有较高的附着力,能更好地与基底结合。

3.应用和优势

由于溅射能在基底上沉积高质量的薄膜,因此被广泛应用于航空航天、太阳能、微电子和汽车等各个行业。

对于熔点较高的材料来说,溅射尤其具有优势,因为这些材料无需熔化就可进行溅射,而熔化会改变其特性。

4.历史背景

20 世纪 70 年代,Peter J. Clarke 开发出等离子溅射技术,标志着该领域的重大进步,使薄膜沉积更可控、更高效。

更正和审查: 所提供的信息准确地描述了溅射作为一种物理气相沉积的过程和应用。在描述溅射及其在 PVD 中的作用时,不存在与事实不符或不一致的地方。

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