与热蒸发相比,电子束蒸发具有多项优势,特别是在需要薄型高密度涂层和使用高熔点材料的应用中。
电子束蒸发相对于热蒸发的 7 大优势
1.高沉积速率
电子束蒸发可实现 0.1 μm/min 至 100 μm/min 的沉积速率,明显快于热蒸发。
2.高纯度薄膜
电子束只聚焦于源材料,从而将坩埚污染的风险降至最低。因此薄膜的纯度非常高。
3.优异的均匀性
使用掩膜和行星系统时,电子束蒸发可在整个基底上提供极佳的均匀性。
4.与多种材料兼容
电子束蒸发适用于多种材料,包括高温金属和金属氧化物。
5.多层沉积
电子束蒸发可使用不同的源材料进行多层沉积,无需排气。
6.材料利用率高
电子束蒸发工艺具有很高的材料利用效率,这意味着与热蒸发相比,在沉积过程中浪费的材料更少。
7.更适合先进应用
电子束蒸发在处理高温材料、要求高纯度和均匀性以及需要多层结构时尤其具有优势。
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