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化学气相沉积（CVD）反应器是一个复杂的系统，用于在基底上沉积薄膜。
该系统向反应腔提供前驱体。
这是薄膜沉积的地方。
该系统可将基底引入或移出反应腔。
提供化学反应所需的热量或能量。
通过去除不需要的气体来维持受控环境。
用于清除挥发性副产品和多余气体。
用于处理废气中的有害或有毒成分。
包括压力、温度和时间等参数的仪表、控制器和监控系统。
每个组件对 CVD 反应器的高效和有效运行都至关重要。
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