沉积涂层有两大类:物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)。每种类型都包括针对特定应用和材料特性的各种技术。
物理气相沉积 (PVD):这种方法是将材料沉积到基底上,不涉及化学反应。PVD 技术包括
- 热蒸发或电子束蒸发:将材料加热至其汽化点,然后在基底上凝结。
- 磁控溅射或离子束溅射:通过离子轰击将原子从目标材料中喷射出来,然后沉积在基底上。
- 阴极电弧沉积:大电流电弧从阴极蒸发材料,然后沉积在基底上。
化学气相沉积(CVD):这涉及气态前驱体之间的化学反应,在基底上沉积固体材料。技术包括
- 标准 CVD:气体在高温下发生反应,沉积出薄膜。
- 等离子体增强化学气相沉积(PECVD):利用等离子体增强化学反应,从而降低沉积温度。
其他技术包括
- 溶胶-凝胶:通过化学反应形成固体涂层的化学溶液。
- 火焰水解:通过化学蒸汽的热分解进行沉积。
- 电化学和无电解沉积:分别涉及电解或无电化学还原。
- 热喷涂、等离子体喷涂和冷喷涂:包括在不同温度下将材料喷涂到表面。
每种方法的选择都基于涂层所需的特性,如透明度、耐久性、导电性或导热性,以及基材和应用的具体要求。
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