溅射靶材是溅射沉积工艺的重要组成部分。它们为薄膜的形成提供了材料源。
您需要了解的 4 种主要溅射靶材类型
金属溅射靶材
金属溅射靶材由纯金属元素制成。它们通常用于对金属纯度要求极高的应用领域。这包括半导体和计算机芯片的生产。金属靶材可以是适合所需薄膜特性的任何元素金属。
合金溅射靶材
合金溅射靶材由金属混合物制成。选择合金是为了实现薄膜的特定性能。这些特性包括提高硬度、改善导电性或增强耐腐蚀性。合金的成分可根据应用的具体要求进行定制。
陶瓷溅射靶材
陶瓷溅射靶材由非金属化合物制成。这些化合物通常是氧化物或氮化物。陶瓷靶材用于制造具有高硬度和耐磨性的薄膜。这使它们适合应用于工具和切割仪器。陶瓷材料通常具有热绝缘和电绝缘性能。
溅射靶材的特殊形状
溅射靶材的形状已从传统的形状发展到更加特殊的形状。例如，旋转靶是圆柱形的，旨在提供更精确的薄膜沉积。这些靶材的表面积更大，因此沉积速度更快。定制溅射靶材形状的能力可以更好地适应特定的沉积系统和要求。
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